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GB/T 30868-2014碳化硅單晶片微管密度的測定 化學腐蝕法
來源：
標準在線網
中文名稱：
碳化硅單晶片微管密度的測定 化學腐蝕法
英文名稱：
Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers—Chemically etching
標準號：
GB/T 30868-2014
標準類型
CN
發布日期：
2014-7-24
實施日期：
2015-2-1
摘要：
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