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GB/T 29844-2013用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規范
來源：
標準在線網
中文名稱：
用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規范
英文名稱：
Specifications for metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
標準號：
GB/T 29844-2013
標準類型
CN
發布日期：
2013-11-12
實施日期：
2014-4-15
摘要：
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