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中文名稱：300 mm硅單晶切割片和磨削片

英文名稱：300 mm monocrystalline silicon as cut slices and grinded slices

標準號：GB/T 29508-2013

標準類型CN

發布日期：2013-5-9

實施日期：2014-2-1

摘要：本標準規定了直徑300mm、p型、<100>晶向、電阻率0.5Ωocm～20Ωocm的硅單晶切割片和磨削片（簡稱硅片）產品的術語和定義、技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。 本標準適用于直徑300mm直拉單晶經切割、磨削制備的圓形硅片，產品將進一步加工成拋光片，用于制作集成電路IC用線寬90nm技術需求的襯底片。

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