GB/T 29504-2013300 mm硅單晶
中文名稱:300 mm硅單晶
英文名稱:300 mm monocrystalline silicon
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 29504-2013
標(biāo)準(zhǔn)類型CN
發(fā)布日期:2013-5-9
實(shí)施日期:2014-2-1
摘要:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直徑300mm 、 p型、<100>晶向、電阻率0.5Ωocm~20Ωocm硅單晶的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于由直拉法制備的硅單晶,主要用于制作滿足集成電路IC用線寬0.13μm及以下技術(shù)需求的300mm硅單晶拋光片。
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