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中文名稱：掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法

英文名稱：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 29190-2012

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期：2012-12-31

實(shí)施日期：2013-6-1

摘要：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了SPM漂移速率的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、測(cè)量步驟、性能參數(shù)規(guī)格，及基于SPM掃描圖像的漂移速率測(cè)量基本辦法。

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