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> GB/T 18682-2002物理氣相沉積TiN薄膜技術條件
GB/T 18682-2002物理氣相沉積TiN薄膜技術條件
來源:
標準在線網
中文名稱:
物理氣相沉積TiN薄膜技術條件
英文名稱:
Specifications of physical vapour deposition TiN films
標準號:
GB/T 18682-2002
標準類型
CN
發布日期:
2002-3-10
實施日期:
2002-8-1
摘要:
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