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GB/T 18682-2002物理氣相沉積TiN薄膜技術條件

中文名稱:物理氣相沉積TiN薄膜技術條件

英文名稱:Specifications of physical vapour deposition TiN films

標準號:GB/T 18682-2002

標準類型CN

發布日期:2002-3-10

實施日期:2002-8-1

摘要:

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