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> GB/T 31351-2014碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法
GB/T 31351-2014碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法
來源：
標準在線網
中文名稱：
碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法
英文名稱：
Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
標準號：
GB/T 31351-2014
標準類型
CN
發布日期：
2014-12-31
實施日期：
2015-9-1
摘要：
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